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日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P
產品型號:CRYO-U20P
產品品牌:日本愛發(fā)科ulvac
產品簡介: CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵,可進行高真空排??氣。 根據FPD、半導體、電子設備、光學、研發(fā)等用途,有從小型到大型的多種產品可供選擇。 特征 適用于大型沉積系統(tǒng)和其他生產設備。 適用于批量型大型沉積系統(tǒng)。
產品介紹.
日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P
抽速(20℃)
氮
升/秒
10,000
氫
18,000
氬氣
8,400
水
29,000
極限壓力
帕(托)
10
-7
(10
-9
)
流速
氬氣
帕?升/秒(托?升/秒)
1.1×10
3
(8.7)
氫
5.0×10
2
(3.7)
泵送能力
氬氣
帕?升(托?升)
5.8×10
8
(4.4×10
6
)
氫
4.6×106
(
3.4×
104
)
冷卻時間
(電源循環(huán))
小值(Hz)
180/160(50/60)
安裝法蘭
UVG-500
壓縮機組
C30VRT
重量
公斤
69.0
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